中大研精密R2R印刷系统　成本可低九成

　　中评社北京12月23日电／据大公网报道，记者黎慧怡报道：高精度的柔性电子器件是21世纪工业中的重要材料，而这些器件对制造印刷技术和生产环境要求甚高，往往产量低，成本高昂。“工欲善其事，必先利其器”，香港中文大学工程学院研发出精密卷对卷（R2R）印刷系统，达到纳米级的印刷精度及亚微米级（小于1微米）的对准精度，可显着降低生产高精度柔性电子器件的成本，“可能比一般光刻技术便宜五至九成”，并实现量化生产。

　　中大工程学院机械与自动化工程学系教授陈世祈及其团队，由2012年开始是项研究，开发出全新的R2R多层印刷系统，加上微接触印刷技术的应用，实现制造柔性电子器件。陈世祈表示，目前商用的R2R印刷技术产量高，速度快，生产成本低，会用于报纸印刷上，但对准精度低，“当你用放大镜看报纸的时候，就能发现印刷出来的颜色对不到一起。”

　　一分钟可印柔性电子器件

　　为实现更高的对准精度，研究团队在该系统引入基于机器视觉的校正技术，利用一对普通的工业摄像机，透过检测、算法等，首次实现R2R印刷生产中小于1微米的多层对准精度，以及大面积连续压印。陈世祈指，新R2R印刷系统的对准精度相较以往达到两个数量级的提升，速度与传统光刻相比也更快，“一分钟可以印一大片（柔性电子器件），这是以前从来没有过的。”

　　此外，团队透过实验证明，该系统可将压印误差控制于200纳米之内，分辨率更可达100纳米，并且无需于无尘室环境下操作，具可扩展性及可重复性。至于生产成本，陈世祈表示，新R2R印刷系统的成本跟一般系统相若，而精度比原来高100倍，用新R2R技术可做成半导体光刻技术的结果，“成本可能比一般光刻技术便宜5到10倍”。

　　他续指，新研发的系统大大拓展了R2R多层印刷技术的性能及应用范围，如柔性印刷电路板和多层有机光电子器件的R2R加工，系统亦可以直接扩展至工业生产，对制造业产生深远影响。团队希望有意愿的厂商注资，将该研发应用到市场中。相关研究成果已于国际知名期刊《精密工程》（Precision　Engineering）发表。

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